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產(chǎn)品優(yōu)勢
全自研解決方案
全自研解決方案
核心部件均自主研發(fā)
兼容性
兼容性
可兼容多材質(zhì)晶圓
適配性
適配性
可適配多尺寸晶圓
精準識別
精準識別
精準識別晶圓的位移與角度偏差
產(chǎn)品參數
晶圓糾偏精度
±0.1mm
晶圓轉角精度
±0.2°
下載信息驗證

服務(wù)熱線(xiàn)

400-800-8666

業(yè)務(wù)咨詢(xún)

公眾號

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